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标准编号：T/CASME 1953-2025
中文名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
英文名称：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
发布部门：中国中小商业企业协会
发布日期：2025-03-21
实施日期：2025-04-21
标准状态：现行
标准页数：11页
内容简介：本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
T_CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品.pdf
(271.14 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-7-21