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标准编号：T/GVS 017-2024
中文名称：连续式光学磁控溅射镀膜设备
英文名称：Continuous optical magnetron sputtering coating equipment
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2024-12-24
实施日期：2024-12-24
标准状态：现行
标准页数：10页
内容简介：本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。
T_GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备.pdf
(552.11 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-12-25