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标准编号：T/GVS 014-2024
中文名称：半导体设备用低温泵评价规范
英文名称：Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2024-08-02
实施日期：2024-08-02
标准状态：现行
标准页数：18页
内容简介：本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。
T_GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范.pdf
(810.75 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-8-2