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标准编号：T/ICMTIA 2-2019
中文名称：集成电路用过氧化氢
英文名称：Hydrogen peroxide for intergrated circuits
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10
标准状态：现行
标准页数：20页
内容简介：本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。 分子式：H2O2 相对分子质量：34.01(按2011年国际相对原子质量)
T_ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢.pdf
(5.13 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-6-3