T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

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发表于 2022-5-30 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/GVS 006-2022
中文名称：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
英文名称：Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2022-05-27
实施日期：2022-05-27
标准状态：现行
标准页数：17页
内容简介：本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。

T_GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测.pdf (666.46 KB)

标准文档截图：

广东省真空学会

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