T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范

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发表于 2022-3-28 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/GVS 005-2022
中文名称：半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
英文名称：Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2022-03-28
实施日期：2022-03-28

TGVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范.pdf (884.32 KB)

文档首页截图：

广东省真空学会

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