标准编号:T/ZSA 231-2024
中文名称:氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门:中关村标准化协会
发布日期:2024-05-15
实施日期:2024-05-16
标准状态:现行
标准页数:10页
内容简介:本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片,对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 T_ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方.pdf(338.18 KB)