SN/T 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验高纯金属靶材

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中尉

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发表于 2026-2-10 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：SN/T 5822-2025
中文名称：可循环利用的溅射后靶材检验高纯金属靶材
英文名称：
发布部门：中华人民共和国海关总署
发布日期：2025-07-25
实施日期：2026-02-01
标准状态：现行
标准页数：15页
内容简介：本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别。本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。

SN_T 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验高纯金属靶材.pdf (1.91 MB)

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