T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试

zms2004

23 主题	0 回帖	45 积分

上等兵

Rank: 1

积分: 45

发消息

发表于 2025-9-3 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：T/CSCP 0059.5-2025
中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试
英文名称：
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：即将实施
标准页数：12页
内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器电路设计要求、性能要求及测试方法。本文件适用于各类MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的电路设计、验证测试及质量评价。

T_CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片.pdf (641.41 KB)

标准文档截图：

中国腐蚀与防护学会

下载帮助．微软IE浏览器下载含中文的文件时会出现乱码、无法下载等现象，建议使用Chrome、Firefox等非IE内核浏览器下载本站文件；
．当文件无法下载、无法打开或下载的文件与名称不符时，点击向我们反馈；
．站内所有文件均来自公开发布的资源或由网友上传，仅供研究学习使用，请勿用于任何商业用途；
．若无意中侵犯到您的权利，敬请发邮件到：biaozhuns#qq.com（#换成@），我们将及时删除相关资源。

		自动登录	找回密码
密码			立即注册

T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试

相关帖子

T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试