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标准编号：T/CSCP 0059.4-2025
中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试
英文名称：
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：即将实施
标准页数：12页
内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。
T_CSCP 0059.4-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片.pdf
(550.36 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-9-3