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标准编号：T/CSCP 0059.3-2025
中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法
英文名称：
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：即将实施
标准页数：15页
内容简介：本文件规定了机电电统 Micro-Electro-Mechanical System, 以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的测试。
T_CSCP 0059.3-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片.pdf
(642.83 KB)
标准文档截图：
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发表于 2025-9-3