T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价

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标准编号：T/CSCP 0059.2-2025
中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价
英文名称：
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：即将实施
标准页数：12页
内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求,以及材料评价方法。本文件适用于 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价,其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。

T_CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片.pdf (595.54 KB)

标准文档截图：

中国腐蚀与防护学会

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