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标准编号：T/CSEA 26-2023
中文名称：电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
英文名称：Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition
发布部门：中国表面工程协会
发布日期：2023-02-07
实施日期：2023-03-01
标准状态：现行
标准页数：6页
内容简介：本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
T_CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术.pdf
(345.05 KB)
标准文档截图：
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发表于 2024-6-26