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标准编号：T/BEA 40002-2022
中文名称：微波ECR等离子体发生器校准规范
英文名称：Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator
发布部门：北京电子仪器行业协会
发布日期：2022-01-18
实施日期：2022-02-09
标准状态：现行
标准页数：13页
内容简介：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
T_BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范.pdf
(765.15 KB)
标准文档截图：
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发表于 2023-3-23