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标准编号：YS/T 24-2016
中文名称：外延钉缺陷的检验方法
英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
标准状态：现行
替代标准：YS/T 24-1992
标准页数：5页
内容简介：本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
YS_T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法.pdf
(971 KB)
标准文档截图：
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发表于 2022-3-6