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标准编号：YS/T 23-2016
中文名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers-Stacking fault size
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
标准状态：现行
替代标准：YS/T 23-1992
标准页数：7页
内容简介：本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在、和晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。
YS_T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法.pdf
(1.62 MB)
标准文档截图：
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发表于 2022-3-6