YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

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标准编号：YS/T 14-2015
中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
替代标准：YS/T 14-1991
标准页数：6页
内容简介：本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
YS_T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf (1.29 MB)

2022-3-5 上传

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