YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

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少尉

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发表于 2022-3-4 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：YS/T 1031-2015
中文名称：化学气相沉积炉
英文名称：Chemical vapor deposition furnace
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
标准页数：9页
内容简介：本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积。

YS_T 1031-2015 化学气相沉积炉.pdf (1.79 MB)

标准文档截图：

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