YS/T 985-2014 硅抛光回收片

lihua195891 · 发表于 2022-3-4

标准编号：YS/T 985-2014
中文名称：硅抛光回收片
英文名称：Polished reclaimed silicon wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准状态：现行
标准页数：12页
内容简介：本标准规定了硅拋光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同）内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100 mm, 125 mm、150 mm和 200 mm单面或双面拋光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面拋光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。

YS_T 985-2014 硅抛光回收片.pdf (2.65 MB)

标准文档截图：

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