标准编号:GB/T 20726-2015
中文名称:微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
英文名称:Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2015-10-09
实施日期:2016-09-01
标准状态:现行
替代标准:GB/T 20726-2006
标准页数:13页
内容简介:本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309ˇ[2]和 ASTM E1508ˇ[3]中已有规范,不在本标准范围之内。 GB_T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主.pdf(3.33 MB)