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标准编号：YS/T 1290-2018
中文名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production-Gas chromatographic method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2018-10-22
实施日期：2019-04-01
YST 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法.pdf
(3.61 MB)
文档首页截图：
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发表于 2021-8-30