标准编号：DB31/ 506-2020
中文名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称：The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
发布部门：上海市市场监督管理局
发布日期：2020-09-25
实施日期：2020-12-01
标准状态：现行
替代标准：DB31/ 506-2010
标准页数：8页
内容简介：本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。 DB31_ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额.pdf(2.13 MB)
发表于 2020-12-1
