SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法

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发表于 2018-12-12 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：SJ/T 11493-2015
中文名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01

SJT 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法.pdf (1.53 MB)

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