|
|
标准编号：SJ/T 11489-2015
中文名称：低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
英文名称：Test method for measuring etch pit density(EPD)in low dislocation density indium phosphide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
SJT 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法.pdf
(3.05 MB)
|
|
发表于 2018-11-19