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标准编号：JC/T 2133-2012
中文名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光...
英文名称：Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2012-12-28
实施日期：2013年6月1日
JCT 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原.pdf
(2.67 MB)
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发表于 2018-10-3