JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

lemon2000 · 发表于 2016-12-26

标准编号：JJF 1351-2012
中文名称：扫描探针显微镜校准规范
英文名称：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
发布日期：2012-06-18
实施日期：2012-09-18
标准状态：现行
标准页数：16页
内容简介：本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范.pdf (4.32 MB)

标准文档截图：

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