HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷/氮气
标准编号：HG/T 5895-2022中文名称：工业用混合气体 硅烷/氮气
英文名称：Mixed gas used for industry—Silane in nitrogen
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-04-01
标准状态：现行
标准页数：12页
内容简介：本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
标准文档截图：
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