SJ 21535-2018 电力电子器件用碳化硅外延片规范
标准编号：SJ 21535-2018中文名称：电力电子器件用碳化硅外延片规范
英文名称：Specification of silicon carbide epitaxial wafer for power electronic device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
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